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溅射模块

更新时间:2020-08-12

产品品牌:safematic

产品产地:

产品型号:SP-010

产品描述:溅射模块采用统一的电气和气体接口,与CCU-010 HV和CCU-010 LV主体机配套使用。

       尽管用于CCU-010 LV和CCU-010 HV紧凑式镀膜机的SP-010溅射头的形状小巧,它仍然具备在真空中进行高质量溅射镀膜所需的特性。
       此模块把磁控管、靶材、挡板、工艺压力调节器和电源器件完全整合到一个装置中,装置准备就绪,随时可以运行,并且便于维护。
       通过接口供电、供气和传送信号,只需一项手动操作,就可以把系统设置成溅射装置。

亮点:
·  以电子方式控制工艺真空度,容器内压力稳定。
·  设有环形气孔,工作气体分布均匀。
·  对碎片进行探测和监控,操作。
·  具备靶材冷却功能,带有温度监测,运行顺畅。
·  采用统一的电气和气体接口,与CCU-010 HV和CCU-010 LV主体机配套使用。

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